產(chǎn)品參數(shù)
腔體
01.樣品臺(tái)尺寸：CGO-2/CGO-4
02.觀察窗口：2英寸/4英寸
03.制冷方式：液氮 、液氦/制冷機(jī)
04.控制方式：開循環(huán)手動(dòng)/閉循環(huán)自動(dòng)控制
05.溫度范圍：77K~450K、4.5K~450K/4.5K~450K
06.真空度：10-6 torr
07.探針臂接口：頂多6個(gè)探針臂接口
08.樣品固定：彈簧壓片
09.其他接口：電信接口、真空接口、光纖接口、冷源接口
10.溫度分辨率：0.1K / 0.01K / 0.001K
11.穩(wěn)定性：±1K / ±0.1K / ±0.01K
顯微鏡
01.X-Y-Z移動(dòng)行程：50mmx25mmx13mm
02.結(jié)構(gòu)：外置探針臂，真空波紋管結(jié)構(gòu)
03.移動(dòng)精度：10μm/ 1μm
04.光源：外置LED環(huán)形光源/同軸光源
05.CCD：200萬像素/500萬像素/1200萬像素
探針座
01.X-Y-Z移動(dòng)行程：50mmx25mmx13mm
02.結(jié)構(gòu)：外置探針臂，真空波紋管結(jié)構(gòu)
03.移動(dòng)精度：10μm/ 1μm
探針夾具
01.線纜：同軸線/三軸線/射頻線
02.漏電精度：10 PA/ 100fA/ 10fA
03.固定探針：彈簧固定/螺絲固定
04.接頭類型：BNC/三軸/香蕉頭/鱷魚夾/接線端子/射頻接口
探針
01.射頻支持：DC-67GHZ
02.針尖直徑：0.2μm/1μm/2μm/5μm/10μm/20μm/50μm/100μm
03.材質(zhì)：鎢鋼/鈹銅
04.真空組件：分子泵組/機(jī)械泵
05.冷源組件：50L/100L液氮罐/液氨罐/制冷機(jī)
06.外形重量：730mmx750mmx1265mm(長寬高) 約100kg
防震桌參數(shù)
01.防震桌類型：氣浮隔振防震桌/阻尼隔振防震桌
02.隔振方式：空氣彈簧隔振/復(fù)合材料隔振
03.材質(zhì)：不銹鋼 / 碳鋼
04.平面度：0.05mm/m2
05.粗糙度：＜0.8μm
06.孔距：25×25mm
07.孔徑：M6
08.平臺(tái)尺寸(長寬)：可定制
09.平臺(tái)厚度：50 / 100 / 200mm
10.固有頻率：1.5Hz - 2Hz/6Hz - 8Hz
11.支撐腿：氣浮支撐腿/阻尼支撐腿
12.支撐腿數(shù)量個(gè)：4個(gè)/6個(gè)
13.支撐腿高度：800mm±10mm
14.其他：內(nèi)芯采用蜂窩支撐、表面密迪紋處理、支撐腳可選腳輪、特殊尺寸可定制
